在60到90度之间的温度比在环境温度下的等离子腐蚀速度快四倍。对于温度敏感元件或使用温度敏感元件，防腐涂层附着力验收规范等离子蚀刻可以降低到15摄氏度。所有温度控制系统都预先编程并集成到软件中。在空腔中引入不同的气体可以修改工艺。常见气体有O2、N2、Ar、H2和CF4。大多数实验室单独或组合使用这
