而随着三维鳍片晶体管技术的发展，yamato等离子体清洗机器等离子体表面处理器原子层刻蚀技术具有均匀性、超高选择性等突出优势，使其在一些关键刻蚀工艺中得到了很好的应用。等离子体表面处理器原子层刻蚀被认为是一种很有前途的原子级刻蚀方法，这与其自限性有关。自限性是指随着刻蚀时间的增加或反应物的引入，刻蚀
