例如，阳极氧化后喷粉附着力很差氧等离子体氧化性高，可氧化光刻胶产生气体，从而达到清洗效果；腐蚀气体的等离子体具有良好的各向异性，可以满足刻蚀的需要。等离子体处理会发出辉光，故称辉光放电处理。辉光放电时，电子和正离子在放电极点电场的作用下分别向阳极和阴极移动，在极点附近堆积形成空间电荷区。由于正离子的
