真气路控制部分常用的控制阀有高真空气动挡板阀、手动高真空角阀和电磁真空带充气阀(1)真空电磁阀(vacuum)等离子清洗机需要保证真空室内部的真空在设计范围内，连接器等离子体去胶机器所以与真空室连接的阀门必须满足高真空密封的要求，所以常规工艺气体的控制是采用真空电磁阀。因为气体的过程是一个控制方式,
