因此，pcb板蚀刻原理真空室内的气体分布必须是均匀分布的，气体分布的均匀分布是通过内部气流支管或交替气流方向来实现的。 (4)抽气 当抽气阀打开时，真空泵排气至设定压力继续工作，将排出的颗粒物去除，新的活性颗粒物进入真空室。吸气阀的设计和位置应尽可能远离进气口。这是因为如果吸气阀太靠近，活性颗粒会被
