这一副作用可以通过氧化硅的再次填充得以解决。。正确地说，油漆和指甲油哪个附着力强过刻蚀过少会导致多晶硅栅极侧壁底部的立足点，而过刻蚀过多会恶化顶部的颈缩效应。等离子表面处理机的过刻蚀工艺采用HBr/O2刻蚀工艺，对栅控硅具有高刻蚀选择性，但仍容易出现硅过孔（pitching）和硅损伤。 TSV 的形
