若电子、离子、中性粒子（中性气体）的温度分别为Te，阳极氧化膜附着力Ti，Tn，我们把这三种粒子的温度近似相等（Te≈ Ti ≈ Tn）的热平衡等离子体，称为热等离子体(thermal plasma)，在实际的热等离子体发生装置中，阴极和阳极间的电弧放电作用使得流入的工作气体发生电离，输出的等离子体
