可以看出，二氧化硅干法刻蚀去除（去除）等离子体造成的油污的过程，是有机（有机）聚合物逐渐分解形成水、二氧化碳等小分子，并以气体的形式去除的过程。等离子清洗的另一个特点是清洗完成后物体完全干燥。等离子处理过的物体表面通常会“激活”物体表面并形成许多新的活性基团，从而改变其特性。这大大提高了物体表面的润
