它由离子体、电子、自由基分子、光子和中性粒子组成，铝板上的附着力是物质的第四态。等离子体清洗是利用等离子体通过化学或物理作用，在分子水平上对工件表面进行处理，去除污垢，改善表面性能的工艺过程。根据污染物的不同，应采用不同的清洗工艺。根据选择的工艺气体不同，可分为化学清洗、物理清洗和物化清洗。目前激励
