通过优化图案化方法，金属表面钝化及活化例如在沟槽蚀刻中使用金属硬掩模，可以显着提高 LER。随着图形尺寸的缩小，LER的影响越来越大，如何通过精细的图形手段提高LER是一个永恒的主题。电介质顶面的宽度不仅取决于蚀刻定义的尺寸，还取决于化学机械抛光的深度，因为蚀刻的沟槽总是具有一定的倾斜角，例如 85
