而真空等离子体清洗机依靠真空泵，连接线plasma蚀刻机在离子产生之前，即使没有外部气体连接，也要将腔室中的真空度抽到25Pa以下才能产生离子。4、温度。虽然大气等离子清洗机经过几秒钟的材料处理后温度在60°-75°左右，但这个数据是根据喷枪到材料的距离15mm，功率500W，三轴转速120mm/s
