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图一 水平式等离子清洗机原理示意图CCP典型放电条件：①压强10Pa-100Pa；②电极间距1cm-5cm；③高频功率20W-200W，超强反应活性附着力助剂生成等离子体密度约为1016m-3量级CCP放电优势：能够较容易生成大口径等离子体，放电现象较为稳定。等离子体火焰处理器对双陶瓷基板平台结构有
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