所述等离子体鞘层可形成于电极或装置壁的表面。根据电极或器件电位与等离子体电位的关系,连接器等离子体蚀刻机器可分为离子鞘和电子鞘。等离子洗车机电极附近护套:假设等离子体势是副总裁,电极电位与当电极电势之差与和等离子体潜在副总裁都是一个,外部电路连接,电极会有电流,相当于引入外部等离子体电势。Vs Ne