清洁过程应始终抽真空以去除污染物，电化学表面改性同时补充清洁气体。为了保持一定的真空度，进气和抽出的气体必须处于动态平衡。如果进气量太大，对真空泵的要求就会很高，会浪费气体。此外，高要求的超净气源必须先过滤后放入等离子等离子清洗机的腔体中。此时，确保气体流速不要太高。 PLASMA 等离子清洗剂是一
