(2)流量计出现故障，连接器等离子体清洗机无法控制流量。检查接线和流量计。 ③真空室或管道有泄漏。检查每个连接和腔室的密封。 (4) 检查系统参数设置。 9 吸尘器真空度太低，系统自动关机。检查供气是否正常。 (1)进气流量太小，无法维持真空度。 (2)流量计故障：流量计堵塞或损坏。 (3)检查
