电晕脉冲技术于20世纪80年代末被报道，电晕电晕处理设备并用于电晕物理的基础研究。研究发现，电晕脉冲刻蚀技术可以解决传统连续电晕刻蚀中遇到的许多问题，特别是对于含有负电荷电晕的刻蚀工艺。与传统的连续电晕刻蚀相比，电晕电晕脉冲技术可以获得高选择性、高各向异性和轻电荷积累损伤的刻蚀工艺，并且可以提高刻蚀
