这是因为Ar等离子体它可以清洁GaAs表面的氧化层，高光漆附着力检测减少GaAs表面的非辐射复合，提高光致发光效率。经硫等离子体处理的样品的PL强度比单独用Ar等离子体轰击的样品高104%，表明硫等离子体具有良好的表面钝化效果。与未处理样品相比，PL的峰值强度提高了71%，经等离子体硫钝化的样品退火
