电离辐射是指等离子体中的带电粒子在其他粒子的静电势的作用下，静电喷涂附着力多大随着速度的变化而发生动能变化而引起的电磁辐射。在等离子处理器中，电子速度比离子速度快得多，因此强电离辐射主要由电子产生。..当自由电子在离子电场的作用下接近阳离子时，电子的惯性运动受阻，造成电磁辐射和能量损失。在这个过程中
