等离子体设备便是使用这类特异性成份对样品表面进行处理，附着力检测的目的以达到洁净、涂布等目的。 等离子体设备按汽体可分为特异性汽体和非特异性汽体等离子体:根据产生等离子体时运用的汽体的化学性质，氩气(Ar)、N2、氟化氮(CF4)、四氟化碳(CF4)、空气等不特异性汽体有不同的反应机理，但特异性汽体
