PDMS是一种接近惰性且具有高抗氧化性能的聚合物，低温等离子体表面改性清洁同样可以用作有机电子领域的电绝缘材料(微电子或聚合物电子)，也可以用于生物微分析领域。对于PDMS来说，一个常见的应用是微流体系统领域，使用时根据用户要求将指定的聚二甲基硅氧烷(如：Sylgard184)结构化，然后进行等离子
