图1-5 滑动弧等离子发生器用于材料表面处理中的等离子体属于低温等离子体，达因值不过关有什么影响其中充斥着大量的高活性基团，包括电子、离子、自由原子、激发态离子与自由基等，具有较高的能量，可以与材料表面发生微小的物理与化学变化，达到表面处理的目的；并且其温度接近室温，适合处理对温度敏感的材料，如薄膜
