电晕表面处理器的加速电子与气体分子发生非弹性碰撞，电晕处理机废气处理打破分子轨道，使分子被激发、解离、电离，产生大量基态或激发态的原子和带电粒子。在这种情况下，电子的动能较高，其他重粒子的温度较低，所以系统处于非平衡态。电晕表面处理器非平衡电晕中的粒子具有较高的化学活性，为电晕氢气还原金属氧化物提供
