因此，cob蚀刻机器等离子体反应器中的能量密度越高，C2H6和CO2的转化率越高。当能量密度从380 kJ/mol增加到1500 kJ/mol时，对C2H4和C2H2的选择性分别从36.0%和55.4%下降到16.2%和24.2%。能量密度对气体产物C2H4/C2H2和H2/CO比值的影响如表3-5
