电迁移的测试结构有两种，喷漆附着力训练分别是上行电迁移结构和下行电迁移结构。双大马士革铜互连工艺中通孔与上下金属层的连接是一个复杂的结构，对于上行电迁移结构来说，由于上层金属尺寸小，通孔深宽比大，上行结构的通孔填充是一个挑战。如果通孔侧壁上的金属阻挡层在充铜时不连续或不均匀，则上行EM失效；但由于上
