等离子体损伤(PID)后器件的NBTI性能下降，辊涂机附着力低的原因是原因是电荷损伤导致界面态密度升高。尽管NBTI可能会被后续退火过程钝化，但这些高的初始界面态密度导致了更高的NBTI降解。NBTI可以作为检测等离子体器件中潜在等离子体损伤(PID)的有效方法。金等人。微光图像增强器的主要指标之一
