其中放电系统由放电腔体、平行极板、工件支座和电源及匹配网络组成，镀铝膜附着力差的原因有哪些真空系统由真空泵、充气系统、密封件、阀门、压强感应器组成，真空泵抽取真空并维持反应室内气压平衡，压强感应器测量反应时的压强。反应腔体要求反应室真空密封同时具备辐射防护。充气系统由气管、流量计和阀门组成，目的是定
