因此，涂层附着力拉拔仪操作规程为了避免这种条纹的形成，在底层的防反射涂层蚀刻时，必须严格控制聚合物在层与层之间的保护层侧壁上的沉积。孙武等人通过对反射镜蚀刻工艺参数进行了研究，包括大气等离子体清洗机CHF3 / CF4蚀刻气体比、等离子体功率和蚀刻工艺时间等，研究结果表明CHF3 / CF4比越低，
