选择氩气(Ar)作为生产气体，真空度和真空值选择氧气或氮气作为反应气体。等离子清洗机的优点:第一种分为两种方式，即腔式和大气压式，这两种等离子技能都是直接等离子。腔等离子体的特点是需要一个封闭室,电极放置在真空室,第一个真空泵吸出的操作的空气室形成vacuum-like环境,然后在整个等离子体室和直
