其紧凑的结构最大限度地减少了对空间的需求。一般结构可以处理各种产品形态因素，软板plasma清洗机包括FPC, PCD，载体，带材，层压和芯片。自动真空等离子清洗系统可配置为单条和多条或条框，晶圆加工，根据产量和产品形态要求。该系统自动恢复等离子准备，补偿真空压力，温度变化和不同的批次大小。利用一种
