成功的例子包括半导体制造工艺、氟利昂等离子干法蚀刻的使用，表面改性提高耐磨性以及通过离子电镀在金属表面形成氮化钛薄膜。自1970年代以来，非金属固体（玻璃、纤维、塑料等）低压等离子体的表面处理和改性技术也得到了迅速发展。。等离子发生器蚀刻ICP蚀刻工艺广泛应用于硅碳蚀刻领域。化学反应烧制碳碳复合材料
