氢气是一种危险气体，超声可以改变氧化铝亲水性与氧气结合时会发生爆炸而不会被电离。因此，一般不允许在真空等离子处理装置中混合两种气体。在真空等离子体状态下，氢等离子体与氩等离子体一样呈红色，在相同放电环境下比氩等离子体略暗。 3.气体选为氮气：氮颗粒较重，是介于活性气体和惰性气体之间的气体，可以提供冲
