等离子体清洗的原理与超声波清洗的原理不同。当舱内接近真空时，等离子体清洗的原理开启射频电源，气体分子随之电离，产生等离子体，并伴随辉光放电。等离子体在电场作用下加速，因而在电场作用下高速运动，与物体表面发生物理碰撞。等离子体的能量足以去除各种污染物，氧离子可以将有机污染物氧化成二氧化碳和水蒸气排出舱
