在高达10,000 K的温度下，电子电路等离子活化机电子能量分布的很大一部分用于将工作气体分子分解成活性物质(原子、基团和离子)。因此，非平衡等离子体实际上是将电能转化为工作气体的化学能和内能，这种化学能和内能可以用于材料表面改性。等离子体鞘层在材料表面改性中起着重要作用，因为鞘层中的电场可以将电源
