在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：1.1灰化表面有机层－表面会受到化学轰击（氧 下图）－在真空和瞬时高温状态下，表面附着力促进剂污染物部分蒸发－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出－紫外辐射破坏污染物因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。1.2氧化物
