等离子刻蚀的原理可以概括为以下几个步骤：● 在低压下，贵州等离子处理仪品牌反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体，等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团（Radicals）● 活性反应基团和被刻蚀物质表面形成化
