在反应机理方面，表面改性的汽水分离器等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体的等离子体激发；气相物质在固体表面的吸附；吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；分子分析产物形成气相；表面反应残留物。等离子体刻蚀机清洗手机外壳表面的机理：其可靠性主要取决于低温等离子体对材料表面理化性能的改善，去除弱界面层
