。等离子蚀刻机硅片和电路板制造行业应用:等离子蚀刻机应用介绍(1)硅片制造行业应用在芯片制造行业，芯片蚀刻机与光刻机区别四氟化气用于硅片的线蚀刻。等离子体蚀刻机使用四氟化气体进行氮化硅和光刻胶。等离子蚀刻机可以使用纯四氟气体或氧气在晶圆上形成微米级的氮化硅蚀刻，(2)线路板制造行业的应用智能制造等离
