研究表明，等离子清洁机去碳化参数激发频率为13.56MHz的氢氩混合气体可有效去除引线框架金属层的污染物，氢等离子体可去除氧化物，氩离子化可去除氢等离子体。为了比较清洗效果，JHHsieh 在 175°C 下对铜引线框架进行氧化，并用两种气体 Ar 和 Ar/H2（1:4）等离子体分别清洗 2.5
