3、选择真空度：适当提高真空度，软板等离子刻蚀机器增加了电子运动的平均自由程，从而增加了从电场中获得的能量，有利于电离。此外，如果必须保持氧气的流动，真空度越高，氧气的相对比例就越高，产生的活性粒子浓度也越高。但是，如果真空度太高，活性粒子的浓度反而会降低。如果储存不当或出于其他原因，软板等离子刻蚀
