此外，芯片等离子清洁机批量和在线清洗工艺已经可用。4混合电路混合电路的问题是引线与表面的虚接，主要归因于焊剂、光刻胶等残留在电路表面的物质。对于这种清洗，使用氩等离子体清洗，可以去除锡氧化物或金属，从而改变电性能。此外，键合前氩等离子体还用于铝基板在金属化、芯片键合和最终封装前的清洁。5硬盘等离子体
