它通常是指在不损害材料表面和电性能的情况下，油漆附着力介绍有效去除残留在材料中的微细粉尘、金属离子和有机杂质。当今广泛使用的物理和化学清洗方法大致可分为湿法清洗和干法清洗两大类。湿法清洁在当前的微电子清洁工艺中仍然占主导地位。但是，在环境影响、原材料消耗和未来发展方面，干洗明显优于湿洗。与干洗相比，
