因此，聚四氟乙烯等离子蚀刻本装置设备成本不高，清洗过程无需使用昂贵的有机溶剂，使得整体成本低于传统湿法清洗工艺；7.采用等离子清洗，避免清洗液的运输、储存和排放管理措施，因此生产现场易于保持清洁卫生；八、等离子清洗可以处理的对象不分，它可以处理多种材料，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如
