锂电池组的正负极材料是将锂电池正负极材料涂覆在金属薄带上，附着力好的单体金属薄带在涂覆电极材料时，需要清洗金属薄带，金属薄带一般为铝薄或铜薄，原湿式乙醇清洗，易损坏锂电池的其他部件。干式清洗等离子体清洗机能有效解决上述问题。。在我国的集成电路产业链中，集成电路封装行业是第一支柱产业。随着集成电路器件
