蚀刻作用是利用典型的气体组合，二氧化钛 附着力在物体表面形成强烈的蚀刻气相等离子体和有机基体，产生一氧化碳、二氧化碳、H2O等其他气体，达到蚀刻的目的。用于蚀刻的气体主要是含氟气体，最常用的是四氟化碳。四氟化碳是一种无色无味的气体，无毒、不易燃，但具有很强的麻醉作用。因此，储存工业用的容器是专用的高
