等离子表面处理器由于其自身的特点，BGA清洁机器在许多生产过程中都占有一席之地。在等离子表面处理机的工作清洗过程中，要达到良好的等离子清洗效果，需要与不同的蒸汽配合使用。根据蒸汽的不同，其中比较常用的是惰性气体氩气(Ar)。在真空室清洗过程中，等离子体表面处理器和氩气(Ar)往往能有效地去除纳米级的
