以物理反应为中心的等离子清洗，电池等离子体蚀刻也称为溅射蚀刻（SPE）离子铣削（IM），本身没有化学反应，清洗表面不留氧化物，保持被清洗物体的化学性质。做。纯度，另一种等离子清洗在物理和化学反应的表面反应机理中起重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗相互促进，离子冲击清洗对表面的损伤。它
