这种蚀刻一般采用温度较高的激光蚀刻，塑胶等离子体表面处理机器所以图形定义准确，但粗糙度较大，特别是对于蚀刻气体成分和温度比较敏感，考虑到实际情况，添加了蚀刻后处理工艺来提高表面粗糙度。蚀刻线的边缘粗糙度需要提高，但接近90度的平角有很大的优势，特别是在深宽比大于20的情况下仍然可以准确地传递图形。以
