低温等离子体的能量约为几十电子伏特，分子量大小与附着力其中所含的离子、电子、自由基等活性粒子以及紫外线等辐射射线，很容易与固体表面的污染物分子发生反应，使之分离，从而起到清洗作用。同时，由于低温等离子体的能量远低于高能射线，该技术只涉及材料表面，对材料基体性能没有影响。等离子体清洗是干法工艺，可以提
