plasma sheath 浮置基板处的鞘层：当插入等离子体的是绝缘材料，纳米粒子表面处理是改性吗因为电流不能通过，所以到达绝缘体表面的带电粒子要么在表面处相互复合，要么返回等离子体区。在 等离子体中，由于电子的运动速度大于重粒子的运动速度，绝缘体表面会出现净的负电荷积累，即表面相对于等离子体区呈负
