粗，高密度等离子体刻蚀形成许多改变样品表面的细小凹坑，增加了样品的比表面积。提高固体表面的润湿性。向电子添加能量的一种简单方法是使用平行电极板施加直流电压。电极中的电子被带正电的电极吸引和加速。在加速过程中，电子可以储存能量。电子能 在某些时候，它具有解离中性气体原子的能力，并且有许多方法可以产生高
